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渦旋式真空泵的工作原理及設計加工與應用

時間：2015-02-03

渦旋式真空泵的工作原理渦旋式真空泵主要包括左定子、右定子、轉子、曲軸、防自轉機構、進氣口、排氣口等部分。氣體在由渦旋定子和渦旋轉子組成的月牙腔內壓縮，渦旋定子固定在機架的周邊上，在渦旋定子的周邊上開有吸氣口，在轉子和定子渦旋體中心部開有排氣口。

? ? ? ?渦旋式真空泵主要包括左定子、右定子、轉子、曲軸、防自轉機構、進氣口、排氣口等部分。氣體在由渦旋定子和渦旋轉子組成的月牙腔內壓縮，渦旋定子固定在機架的周邊上，在渦旋定子的周邊上開有吸氣口，在轉子和定子渦旋體中心部開有排氣口。渦旋轉子隨著曲軸的回轉以偏心量作為半徑繞定子中心做公轉運動。在渦旋轉子還受防自傳結構的約束，不能自傳，始終保持著一種固定的姿勢，其中心繞渦旋定子中心作半徑為R的圓周運動。渦旋式真空泵運轉的時候，兩個渦旋定子和渦旋轉子的渦線基本相同，只要將兩者的相位錯開180°，并且各自中心保持相聚R即可組合而成。結果在兩個渦旋體之間形成了一系列月牙形壓縮腔。渦旋轉子中心每回轉90°按順時針方向做圓周運動，吸氣結束后，渦旋體外圓周的壓縮室出于關閉狀態。由此可以設想壓縮機結構式壓縮腔一面向中心處移動，壓縮腔的容積一面逐漸變小。一個壓縮腔從吸氣，經壓縮，最后排氣的全過程。

? ? ? ?為了減輕泵渦旋體的重量，其基材用鋁，在表面上涂鍍一層特殊性能的聚四氟乙烯，以增加耐磨性和耐腐蝕性。該泵渦旋體間相鄰工作腔的壓差小 , 故氣體泄露量小 , 泵的驅動轉矩變化小，因此泵的噪昔低、振動小。該泵特點是重量輕、體積小，為臥式結構，可以從大氣壓力下直接抽到 10-1Pa ，是一種使用范圍很寬的粗抽用干式真空泵。